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怎么理解气体流量控制器的流量单位?
发布时间:2018-03-27   点击次数:191次
   怎么理解气体流量控制器的流量单位?
  气体质量流量单位一般以sccm和slm来表示。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为:气压—101325Pa(760mm Hg);温度—0℃(273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min之处。
  对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量,这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数,可以方便地查到,因而简单地做一个乘法即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
  需要注意的是,被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位,不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位(Kg/min),但是它符合国际半导体协会制定的SEMI国际标准。
  什么情况下用气体流量控制器?
  一般而言,仅对流量进行计量或监测时,用质量流量计;需要对流量进行控制时,用气体流量控制器。某些测量场合,用二者皆可,如对毛细管流通能力的测量,当定压测流的时候,用质量流量计;当定流测压时,需要用气体流量控制器。注意,当气体流量控制器处于清洗状态时,也可以当质量流量计使用,只不过气压降要比普通质量流量计大一些。
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